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CMS系列(用于氢气和氦气)
 
CMS系列(用于氢气和氦气)

  
CMS系列(用于氢气和氦气)

CMS0010/0050/0200/0500/1000/2000
气体质量流量计(用于氢气和氦气)

CMS系列高可靠性气体质量流量计,使用了山武公司新近开发的
微流量传感器,这种传感器是感热式流量传感单元。
超小型结构、高精度传感器、高密度集成电路设计技术的结合使
这种仪表具有精度高、量程比大,且成本低的优点。

 
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